| 摘要 |
斜視図（ａ）に示す構造をもった検出リング（６００）を用意する。この検出リング（６００）は、側面図（ｂ）に示すように、ＸＹ平面上にＺ軸が中心軸となるように配置され、下面図（ｃ）に示すように、その平面形状は円形のリングをなす。検出リング（６００）は、弾性変形する板バネからなる４組の検出部（Ｄ１〜Ｄ４）を、４組の円弧状連結部（Ｌ１〜Ｌ４）で連結した構造を有する。検出リング（６００）の下方に支持基板を配置し、Ｙ軸上に配置された固定点（Ｐ１，Ｐ２）を支持基板に固定する。検出対象となる力やモーメントを作用点（Ｑ１，Ｑ２）に作用させると、４組の検出部（Ｄ１〜Ｄ４）が弾性変形を生じる。各検出部（Ｄ１〜Ｄ４）の変位部（６３）の底面にそれぞれ変位電極を形成し、支持基板の対向面に固定電極を形成して４組の容量素子を形成し、その静電容量値の変動量に基づく演算により、作用した力やモーメントを検出する。 |
