发明名称 SCAN PARTICLE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS61208736(A) 申请公布日期 1986.09.17
申请号 JP19860050275 申请日期 1986.03.07
申请人 SIEMENS AG 发明人 YURUGEN FUROOJIEN;RAINAA SHIYUPEERU
分类号 H01J37/145;H01J37/06;H01J37/153;H01J37/28 主分类号 H01J37/145
代理机构 代理人
主权项
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