| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6216509(A) |
申请公布日期 |
1987.01.24 |
| 申请号 |
JP19850155735 |
申请日期 |
1985.07.15 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR & ELECTRONICS LTD |
发明人 |
SHIMIZU NOBUHIRO;SHINPO MASAFUMI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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