| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM BY DC MAGNETRON SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6217174(A) |
申请公布日期 |
1987.01.26 |
| 申请号 |
JP19850154637 |
申请日期 |
1985.07.12 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NISHIDA HIROSHI;MATSUNO HIROBUMI;TAKAI YORIKO |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/35;G11B5/85;G11B5/851 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
