发明名称 RESIST ASHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6221225(A) 申请公布日期 1987.01.29
申请号 JP19850160308 申请日期 1985.07.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJIOKA HIROSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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