发明名称 TESTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6222076(A) 申请公布日期 1987.01.30
申请号 JP19850160234 申请日期 1985.07.22
申请人 HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD;HITACHI LTD 发明人 NISHIMURA KOICHI
分类号 H01L21/66;G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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