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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6273704(A) 申请公布日期 1987.04.04
申请号 JP19850215307 申请日期 1985.09.27
申请人 NEC CORP 发明人 SUGANUMA TORU
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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