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发明名称 WAFER SUPPORTER
摘要
申请公布号 JPS62181441(A) 申请公布日期 1987.08.08
申请号 JP19860253519 申请日期 1986.10.24
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 SESHIRU JIEI DEEBISU;ROBAATO MACHIYUUZU;ROBAATO ARAN BOURINGU;TEIMOSHII EI UURUDORITSUJI;DOYUAN II KAATAA;JIYON II SUPENSAA;RANDOORU SHII HIRUDENBURANDO
分类号 H01L21/673;B65D85/86;B65G1/00;B65G1/02;B65G1/07;B65G49/07;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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