发明名称 TREATMENT BY REACTIVE ION ETCHING
摘要
申请公布号 JPS637633(A) 申请公布日期 1988.01.13
申请号 JP19860152527 申请日期 1986.06.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAMURA MORITAKA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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