METHOD FOR PRODUCING METAL OXIDE FILM AND METAL OXIDE FILM

摘要

본 발명은, 저비용으로 저저항의 금속 산화막을 제작할 수 있는 금속 산화막의 제조 방법을 제공한다. 그래서, 본 발명에 관한 금속 산화막의 제조 방법에서는, 알킬 금속을 포함하는 용액(7)을, 비진공하에 배치된 기판(1)에 대해 분무한다. 또한, 당해 용액(7)을 분무할 때에, 기판(1)에 대해, 무기 화합물로 이루어지는 도펀트를 포함하는 도펀트 용액(5)을 분무한다.