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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURE EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6320836(A) 申请公布日期 1988.01.28
申请号 JP19860165337 申请日期 1986.07.14
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 TSUTSUMI TOSHIAKI
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/306 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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