| 发明名称 |
ION BEAM PROCESSING AND DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6355940(A) |
申请公布日期 |
1988.03.10 |
| 申请号 |
JP19860198810 |
申请日期 |
1986.08.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HARAICHI SATOSHI;ITO FUMIKAZU;SHIMASE AKIRA;YAMAGUCHI HIROSHI;TAKAHASHI TAKAHIKO |
| 分类号 |
H01L21/302;B23K15/00;H01J37/317;H01L21/3065;H01L21/3213 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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