| 发明名称 |
PROTECTIVE FILM FORMING FILM PROTECTIVE FILM FORMING SHEET AND WORK PRODUCT MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
보호막 형성 필름(1) 및 보호막 형성 필름(1)으로 형성된 보호막의 적어도 일방은 측정 온도 0℃에서 측정된 파단 응력(MPa)과 측정 온도 0℃에서 측정된 파단 변형(단위: ％)의 곱이 1MPa·％ 이상 250MPa·％ 이하인 보호막 형성 필름(1). 이러한 보호막 형성 필름(1)에 의하면, 워크를 분할 가공하여 가공물을 얻을 때 워크에 대해 행해지는 익스팬드 공정에 있어서, 당해 보호막 형성 필름(1) 또는 보호막 형성 필름(1)으로 형성된 보호막이 적절히 분할될 수 있다. |
| 申请公布号 |
KR20160136300(A) |
申请公布日期 |
2016.11.29 |
| 申请号 |
KR20167024022 |
申请日期 |
2014.09.03 |
| 申请人 |
LINTEC CORPORATION |
发明人 |
SAIKI NAOYA;INAO YOUICHI;YAMAMOTO DAISUKE;YONEYAMA HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/683;B23K26/53;B32B27/08;B32B27/16;C09J7/02 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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