| 摘要 |
본 발명의 분광 측정 장치는 피측정물의 측정 영역 내에 위치하는 복수의 측정점으로부터 각각 발사된 측정광속을 제1 측정광속 및 제2 측정광속으로 분할하는 분할 광학계와, 제1 측정광속 및 제2 측정광속을 간섭시키는 결상광학계와, 제1 측정광속 및 제2 측정광속의 사이에 연속적인 광로 길이차 분포를 주는 광로 길이차 부여 수단과, 광로 길이의 연속적인 분포에 상응하는 간섭광의 강도 분포를 검출하는 복수의 픽셀을 포함하는 검출부와, 검출부에서 검출되는 간섭광의 광강도 분포에 기초하여, 피측정물의 측정점의 인터페로그램을 구하고, 이 인터페로그램을 푸리에 변환함으로써 스펙트럼을 취득하는 처리부와, 피측정물과 분할 광학계의 사이에 배치된, 그 분할 광학계와 공통의 공역면을 가지는 공역면 결상광학계와, 공역면에 배치되어 복수의 측정점으로부터 발사된 측정광속에 공간적인 주기 변조를 주는 주기성 부여 수단을 구비한다. |
