MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19870213364-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6455844(A)	申请公布日期	1989.03.02
申请号	JP19870213364	申请日期	1987.08.26
申请人	NEC CORP	发明人	YAMADA YOSHIAKI
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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