发明名称 CHARACTERISTIC MEASURING APPARATUS OF SUPERCONDUCTIVE MATERIAL
摘要
申请公布号 JPS6459169(A) 申请公布日期 1989.03.06
申请号 JP19870217004 申请日期 1987.08.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TANAKA SHUNICHIRO
分类号 H01L39/00;G01N27/04;G01R27/02;H01L21/66 主分类号 H01L39/00
代理机构 代理人
主权项
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