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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6490519(A) 申请公布日期 1989.04.07
申请号 JP19870249440 申请日期 1987.10.01
申请人 NEC CORP 发明人 HIRAYAMA HIROYUKI
分类号 H01L21/203;C30B23/08;C30B29/06;H01L21/205 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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