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经营范围
发明名称
LIQUID PHASE CRYSTAL GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0193496(A)
申请公布日期
1989.04.12
申请号
JP19870248443
申请日期
1987.10.01
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SHIMA AKIHIRO
分类号
C30B29/06;C30B19/06;H01L21/208
主分类号
C30B29/06
代理机构
代理人
主权项
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