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经营范围
发明名称
HIGH DOSE ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0195454(A)
申请公布日期
1989.04.13
申请号
JP19870251607
申请日期
1987.10.07
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
IWAMURA SHIRO
分类号
H01J37/08;H01J27/08;H01J37/317
主分类号
H01J37/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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