发明名称 FILAMENT CONTROL SYSTEM AND ITS METHOD
摘要
申请公布号 JPH0197364(A) 申请公布日期 1989.04.14
申请号 JP19880238610 申请日期 1988.09.22
申请人 YOKOGAWA HEWLETT PACKARD LTD 发明人 DEIBITSUDO EE BUROO
分类号 H01J49/10;G01N30/72;H01J37/04;H01J49/02;H01J49/26 主分类号 H01J49/10
代理机构 代理人
主权项
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