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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01101640(A)
申请公布日期
1989.04.19
申请号
JP19870259951
申请日期
1987.10.14
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SASAKI YOSHINOBU;ANDO NAOTO
分类号
H01L21/60;H01L21/338;H01L23/12;H01L29/80;H01L29/812
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
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