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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01135048(A) 申请公布日期 1989.05.26
申请号 JP19870292119 申请日期 1987.11.20
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 MORI KAZUYA;SAKAMOTO TAKASHI
分类号 H01L21/314;H01L21/31;H01L21/66 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
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