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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0128372(B2) 申请公布日期 1989.06.02
申请号 JP19800036309 申请日期 1980.03.24
申请人 BEXFORD LTD 发明人 SUCHUAATO JIOFUERII RAMUBERUTO
分类号 G03F7/09;G03C1/76;G03F7/00;G03F7/11 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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