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发明名称 MAGNETRON SPUTTER ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH01147062(A) 申请公布日期 1989.06.08
申请号 JP19870305604 申请日期 1987.12.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 IWASHITA KATSUHIRO;OGAWA TSUNEO
分类号 C23C14/36;C23C14/35 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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