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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01146325(A) 申请公布日期 1989.06.08
申请号 JP19870304924 申请日期 1987.12.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IRINO KIYOSHI;NAMURA ITARU
分类号 H01L21/265;H01L21/223;H01L21/74 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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