发明名称 THIN FILM SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH01149480(A) 申请公布日期 1989.06.12
申请号 JP19870308234 申请日期 1987.12.04
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 IKEDA NAOKI;KOMAKI KENJI;MIKI AKIRA;NAWA KAZUNARI
分类号 H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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