发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01152650(A) 申请公布日期 1989.06.15
申请号 JP19870311250 申请日期 1987.12.09
申请人 SHARP CORP 发明人 KATAYAMA HIROBUMI
分类号 H01L23/522;H01L21/31;H01L21/768;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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