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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01154566(A) 申请公布日期 1989.06.16
申请号 JP19870314631 申请日期 1987.12.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SAKAMOTO MITSUO
分类号 H01L21/314;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
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