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发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH01159946(A) 申请公布日期 1989.06.22
申请号 JP19870316231 申请日期 1987.12.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIGENAKA NAOTO;HASHIMOTO MOTOYUKI;FUSE MOTOMASA;NISHIMURA EIICHI
分类号 H01J37/147;H01J37/09;H01J37/22 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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