发明名称 CRUCIBLE FOR ELECTRON-BEAM VAPORIZATION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH01165763(A) 申请公布日期 1989.06.29
申请号 JP19870323696 申请日期 1987.12.23
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 SUZUKI KAZUHIRO;IGUCHI MASAO
分类号 C23C14/24;C23C14/30 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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