发明名称 FINE DISPLACEMENT MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH01178802(A) 申请公布日期 1989.07.17
申请号 JP19880000766 申请日期 1988.01.07
申请人 HITACHI CONSTR MACH CO LTD 发明人 HOSHINO YOSHIHIRO;ONO KOZO;OGATA KOJIRO;NAGASAWA KIYOSHI;MURAYAMA TAKESHI
分类号 G01B5/00;G05D3/00;H01L41/04;H01L41/09 主分类号 G01B5/00
代理机构 代理人
主权项
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