双侧压力传感器

摘要

一种用于测量压差的双侧压力传感器，包括具有上、下表面的膜片，两对应变仪分别安装在其上、下表面上。两对应变仪基本在膜片相同径向位置上，最好靠近膜片中心或外缘。传感器可连接成惠斯登电桥以测量导致膜片轻微弯曲的压力。这种弯曲对两对膜片施加压缩和拉伸压力，从而改变其上的电学特性。此电学特性以非线性形式改变。但上、下两表面上的两对应变仪的非线性符号相反、大小相等、因而互相抵消而提供出精确的压力测量。

主权项

1、一种压力传感器，包括： 一个具有暴露于待测压力下的上、下表面的膜片； 第一对安装在膜片上所述上表面选定径向位置上的应变仪， 第二对基本安装在所述下表面的上述选定径向位置的应变仪，当所述膜片暴露在压力下时，所述第一和第二对应变仪的非线性响应符号相反而大小基本相同。