METHOD AND APPARATUS FOR SELF VERIFICATION OF PRESSURE BASED MASS FLOW CONTROLLERS

摘要

질량 유량 제어 시스템은 공정으로의 흐름을 제어할 때에 자신의 정확도에 대하여 자체 증명될 수 있다. 이러한 시스템은: 시스템을 통과하는 유체의 흐름을 제어 신호의 함수로서 제어하기 위한 제어 밸브; 제어 신호를 상기 시스템을 통과하는 유체의 측정된 흐름 및 타게팅된 흐름 세트 포인트의 함수로서 생성하기 위한 제어기; 흐름률을 측정하고 증명하는 데에 사용하기 위한 유체 압력을 제어하는 것을 측정하기 위한 압력 센서; 및 공지된 부피의 유체를 시스템의 정확도를 증명하는 데에 사용하기 위하여 흐름 제어 프로세스의 단계들 사이에서 언제든지 제공하기 위한 유체원을 포함한다.