发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL-GROWING METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH01192791(A) 申请公布日期 1989.08.02
申请号 JP19880014600 申请日期 1988.01.27
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 SAWADA SHINICHI;TATSUMI MASAMI
分类号 H01L21/208;C30B27/02 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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