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发明名称
OBSERVING DEVICE FOR LOWER SURFACE OF LSI
摘要
申请公布号
JPH01195580(A)
申请公布日期
1989.08.07
申请号
JP19880020401
申请日期
1988.01.29
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
YASUDA AKIO
分类号
H01L21/66;G06T1/00
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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