发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01199462(A) 申请公布日期 1989.08.10
申请号 JP19880024392 申请日期 1988.02.04
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KIMURA SHOICHI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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