发明名称 ETCHING
摘要
申请公布号 JPH01201920(A) 申请公布日期 1989.08.14
申请号 JP19880025921 申请日期 1988.02.05
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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