发明名称 WIRING FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01204448(A) 申请公布日期 1989.08.17
申请号 JP19880027499 申请日期 1988.02.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIZUKOSHI KATSURO;HONGO MIKIO;KAMIMURA TAKASHI;SANO HIDEZO;TAKAHASHI TAKAHIKO
分类号 H01L21/3205;H01L21/82 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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