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发明名称 PLASMA CVD GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01211914(A) 申请公布日期 1989.08.25
申请号 JP19880036619 申请日期 1988.02.19
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 SANO HIROSHI
分类号 C23C16/44;C23C16/458;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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