Laser crystallizing apparatus and method for manufacturing substrate having crystallized layer

摘要

본 발명은 비정질실리콘층의 결정화에 있어서 레이저빔의 에너지 낭비를 줄일 수 있는 레이저 결정화 장치 및 이를 이용한 결정층을 갖는 기판의 제조방법을 위하여, 레이저빔 조사 대상층이 형성된 기판이 안착될 수 있는 스테이지와, 상기 스테이지 상에 안착된 기판에 형성된 대상층으로 제1경로를 따라 레이저빔을 조사할 수 있는 소스와, 상기 소스에서 발생되어 상기 스테이지 상에 안착된 기판에 형성된 대상층에 도달한 후 반사된 레이저빔을 반사시켜 상기 스테이지 상에 안착된 기판에 형성된 대상층으로 제2경로를 따라 조사할 수 있는 반사미러를 포함하며, 상기 스테이지 상에 안착된 기판에 형성된 대상층에 있어서 제2경로를 따라 조사된 레이저빔이 조사되는 제2영역의 면적은, 상기 스테이지 상에 안착된 기판에 형성된 대상층에 있어서 제1경로를 따라 조사된 레이저빔이 조사되는 제1영역의 면적보다 넓은, 레이저 결정화 장치 및 이를 이용한 결정층을 갖는 기판의 제조방법을 제공한다.