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发明名称 CONVERGENT ION BEAM PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH01243355(A) 申请公布日期 1989.09.28
申请号 JP19880069378 申请日期 1988.03.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWANAMI YOSHIMI;ISHITANI TORU;ONISHI TAKESHI;UMEMURA KAORU
分类号 H01J37/248;H01J37/317 主分类号 H01J37/248
代理机构 代理人
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