| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01243581(A) |
申请公布日期 |
1989.09.28 |
| 申请号 |
JP19880069529 |
申请日期 |
1988.03.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
TAKASE HIROYUKI;NAKAMURA SHUICHI;MAKABE KAZUYA;HASEBE TADAYOSHI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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