| 发明名称 |
PREPARATION OF CONTAMINATED SPECIMEN OF SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01243536(A) |
申请公布日期 |
1989.09.28 |
| 申请号 |
JP19880071257 |
申请日期 |
1988.03.25 |
| 申请人 |
MITSUBISHI METAL CORP |
发明人 |
SHIMANUKI YASUSHI;YOSHIMI TOSHIHIRO;MORITA ETSURO |
| 分类号 |
H01L21/304;C30B29/06;G01N1/28;H01L21/322;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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