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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01251721(A)
申请公布日期
1989.10.06
申请号
JP19880078417
申请日期
1988.03.31
申请人
NISSAN MOTOR CO LTD
发明人
NOJIRI HIDETOMO;NAKAJIMA TADASHI
分类号
H01L21/3063;H01L21/306
主分类号
H01L21/3063
代理机构
代理人
主权项
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