发明名称 MULTIPLE-BEAM GENERATOR FOR CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01264151(A) 申请公布日期 1989.10.20
申请号 JP19880091534 申请日期 1988.04.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUZAKA TAKASHI
分类号 H01J37/09;H01J37/15;H01J37/26 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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