发明名称 PERIPHERAL PART ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH01270228(A) 申请公布日期 1989.10.27
申请号 JP19880099206 申请日期 1988.04.21
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 KUHARA KENTARO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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