| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON CARBIDE SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01286997(A) |
申请公布日期 |
1989.11.17 |
| 申请号 |
JP19880115080 |
申请日期 |
1988.05.11 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
SHIGETA MITSUHIRO;SUZUKI AKIRA;FURUKAWA MASAKI;FUJII YOSHIHISA |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B25/18;C30B29/36;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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