发明名称 SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 JPH01290765(A) 申请公布日期 1989.11.22
申请号 JP19880118429 申请日期 1988.05.16
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FUKAZAWA MIHARU;YAMAGUCHI SATORU;ISHIHARA HIDEO
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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