一种光刻机的接近式间隙曝光工件台

摘要

本发明公开了一种光刻机的接近式间隙曝光工件台，该工件台用于光刻机中实现样片与掩模板的接近式曝光。该工件台以掩模架和掩模板为水平基准，利用升降驱动机构带动三点弹性支撑机构、承片台、基片上升，通过自动伸出的三个等直径钢球与基准掩模板接触调平后，气动及控制机构锁紧三点弹性支撑机构，同时升降驱动机构停止上升，此时实现并保持样片与掩模板平行；接着升降驱动机构下降某个特定的距离后停止运动，三个钢球收缩返回，最后升降驱动机构再向上运动，一直到样片与掩模板间隙为某一要求值时停止上升，实现样片与掩模板接近式间隙曝光。该工件台能自动完成样片与掩模板的调平并保持一定的曝光间隙，延长了掩模板的使用寿命。

主权项

一种光刻机的接近式间隙曝光工件台，其特征在于：包括掩模板(1)、掩模架(2)、滑块(3)、旋转铜圈(4)、钢球(5)、样片(6)、承片台(7)、三点弹性支撑机构(8)、锁紧气缸(9)、升降驱动机构(10)、主控制器(11)、控制电路板(12)、正压输入端(13)、负压输入端(14)、电控阀门(15)、限位机构(16)和驱动气缸(17)；所述掩模板(1)位于掩模架(2)上方并固接；所述掩模架(2)上表面有真空槽，用于吸紧掩模板(1)，掩模架(2)内腔设置有滑块(3)的径向导向槽，用于滑块(3)导向；所述滑块(3)、钢球(5)以及旋转铜圈(4)嵌入在掩模架(2)内腔中，钢球(5)镶嵌在滑块(3)端部，旋转铜圈(4)上设置有3处滑槽，旋转铜圈(4)旋转运动带动滑块(3)径向伸缩运动；所述承片台(7)设置有真空槽，用于吸附固定样片(6)；所述三点弹性支撑机构(8)与承片台(7)通过柔性铰链连接，用于样片(6)调平；所述驱动气缸(17)和锁紧气缸(9)分别用于驱动旋转铜圈(4)旋转和锁紧三点弹性支撑机构(8)；所述升降驱动机构(10)设置有限位机构(16)，用于停止升降驱动机构(10)运动；所述正压输入端(13)通过电控阀门(15)分别与锁紧气缸(9)和驱动气缸(17)连接；所述负压输入端(14)通过电控阀门(15)分别与掩模架(2)和承片台(7)连接；所述驱动控制板(12)分别与电控阀门(15)和主控制器(11)连接。