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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0211347(U) 申请公布日期 1990.01.24
申请号 JP19880090789U 申请日期 1988.07.07
申请人 发明人
分类号 H01L23/00;H01L21/339;H01L23/48;H01L29/76;H01L29/762;H05F1/00;H05F3/02;(IPC1-7):H01L23/48;H01L29/796 主分类号 H01L23/00
代理机构 代理人
主权项
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